Beim Planfräsen werden Bauteile mit stark unebenen Oberflächen grob bearbeitet, um entweder dem Fein-Schleifprozess bessere Voraussetzungen zu geben oder das Aufmaß zum Schlicht-Schleifen zu verringern.
Das optische Hochleistungsfräsen wird bei Funktionsflächen verwendet, bei denen eine optische Qualität (Reflektivität) von zum Teil über 97% erreicht werden muss. Hierbei werden häufig weiche Materialien wie Kupfer oder Aluminium-Legierungen mit einem monokristallinen Einkorndiamant und besonders hohen Schnittgeschwindigkeiten bearbeitet.
Beim optischen Hochleistungsfräsen werden Ebenheiten von 0,001 mm (1 µm) und Rauheiten von Rz 0,05 erreicht.
Am besten eignen sich nicht zu harte magnetische Werkstoffe, die zum Planfräsen auf einer magnetischen Spannplatte gespannt werden oder nicht magnetische Werkstoffe, die dann über die möglichst plane Rückseite auf einer Vakuum-Spannplatte fixiert werden.
